Prestatiekenmerken en gespecialiseerde toepassingen van membraanpompen in vacuümsystemen
De koolwaterstofvrije zuigkamer maakt de membraanpomp bijzonder geschikt als achterpomp met een turbomoleculaire pomp. Zelfs een tweetraps membraanpomp kan een uiteindelijke druk van ongeveer 5 hPa bereiken. Voor de achterpomp van een turbomoleculaire pomp is dit voldoende. De clean vacuum is bijzonder geschikt voor analyse en R&D-toepassingen. Omdat er geen gasballast is, kan de membraanpomp geen waterdamp afvoeren. Zelfs als een kleine hoeveelheid waterdamp uit de wand van de hoogvacuümapparatuur wordt gedesorbeerd, kan de uiteindelijke druk van de membraanpomp sterk stijgen. Sommige membraanpompen zijn echter uitgerust met een gasballastventiel, dat werkt volgens een gepatenteerde methode. Hiervoor wordt gas toegelaten via de verbindingsgang tussen de eerste en tweede trap van de tweetraps membraanpomp, die via een klein gaatje wordt verbonden met de zuigkamer van de eerste trap.
Als er meer vocht ophoopt en een membraanpomp zonder gasballast wordt gebruikt, moet er stroomopwaarts een geschikte scheider of koude val worden aangesloten om de vorming van een grote hoeveelheid condensaat in de pomp te voorkomen. Maar de uiteindelijke druk zal toenemen.
Membraanpompen verschillen in hun uiteindelijke druk, pompsnelheid en stabiliteit van het zuigen van corrosieve gassen. De pompsnelheid van dit type pomp ligt tussen 3 en 160 l·min-1 (0,25 tot 9,6 m3·u-1). Een tweetrapspomp kan een ultieme druk bereiken van minder dan 4 hPa, en een viertrapspomp kan een uiteindelijke druk onder de 0,5 hPa bereiken. De pompsnelheid en de haalbare einddruk hangen af van de frequentie van de voeding.
De corrosiebestendige gaspomp met gecoate membraan en corrosiebestendige behuizing is geschikt voor het opzuigen van corrosieve gassen.
De naamgevingsmethode van de pomp is l · min-1 om de pompsnelheid aan te geven en het nummer om het aantal trappen van de pomp aan te geven.
